PCE-6V 小型等離子清洗機集成了RF等離子體發生技術、計算機控制技術、軟件(jiàn)編程技術，采用氣體作爲清洗介質，有效地避免了因液體清洗介質對被清洗物帶來的二次污染。工作時(shí)外接一台真空泵，清洗腔内的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面，可短時(shí)間内*清洗掉有機污染物，清洗程度可達(dá)到分子級(jí)。另外，其樣品台可選配加熱功能，可加負偏壓，用以實現(xiàn)離子蝕刻。此外，其可在特定條件(jiàn)下根據需要改變某些材料表面的性能。