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PCE-22 紫外臭氧清洗機是一款可加熱型的紫外臭氧清洗機，其加熱溫度可達(dá)150℃。此款設備可用于清洗各(gè)種基片，爲制作高質量的薄膜打好基礎。特别适(shì)合移除光刻膠，改善表面潤濕性，清洗SEM &TEM，紫外對聚合物改性等。
PCE-44 小型紫外臭氧清洗機，可用于清洗各(gè)種單晶基片，以保證更好的成膜質量。同時(shí)也可去除光刻膠、改善材料表面潤濕性、清洗SEM和TEM樣品及紫外活化聚合物等。紫外臭氧清洗提供了一種無酸、幹燥對材料無損傷的原子級(jí)别的清洗手段，特别适(shì)合清除一些有機化合物。紫外燈主要發出兩種波長的光：185nm和254nm.其中185nm的光可把空氣中的氧氣變爲臭氧，254nm可以破壞化合物中的鍵
PCE-44-LD 小型紫外臭氧清洗機，可用于清洗各(gè)種單晶基片，以保證更好的成膜質量。同時(shí)也可去除光刻膠、改善材料表面潤濕性、清洗SEM和TEM樣品及紫外活化聚合物等。紫外臭氧清洗提供了一種無酸、幹燥對材料無損傷的原子級(jí)别的清洗手段，特别适(shì)合清除一些有機化合物。紫外燈主要發出兩種波長的光：185nm和254nm.其中185nm的光可把空氣中的氧氣變爲臭氧，254nm可以破壞化合物中的鍵
PCE-6V 小型等離子清洗機集成了RF等離子體發生技術、計算機控制技術、軟件(jiàn)編程技術，采用氣體作爲清洗介質，有效地避免了因液體清洗介質對被清洗物帶來的二次污染。工作時(shí)外接一台真空泵，清洗腔内的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面，可短時(shí)間内*清洗掉有機污染物，清洗程度可達(dá)到分子級(jí)。另外，其樣品台可選配加熱功能，可加負偏壓，用以實現(xiàn)離子蝕刻。此外，其可在特定條件(jiàn)下根據需要改變某些材料表面的性能。
PDC-36G 等離子清洗機是一種緊湊型、低成本的等離子清洗機。使(shǐ)用空氣、氧氣、氩氣等離子去除納米級(jí)有機物污染。在射頻(pín)電源的作用下，去除速率大每分鍾10納米。在單晶材料外延薄膜生長以前進行預處(chù)理，對生長具有顯著的作用 。
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