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GSL-1800X-III是一款1800℃三溫區管式爐，采用進口 Kathal Super-1900C 矽钼棒作爲加熱元(yuán)件(jiàn)，以氧化鋁纖維闆作爲爐膛材料，并且内部嵌有氧化锆纖維。儀器配有60*1200mm的剛玉管和一套不鏽鋼法蘭，法蘭上開有dia30mm的石英窗口，以供客戶使(shǐ)用。
GSL-1700X-III-F3LV是一款通過CE認證的三溫區管式爐CVD系統，其爐管直徑爲60mm,其真空泵采用雙旋機械泵，混氣系統爲3路浮子混氣系統。此高溫爐燒結(jié)溫度可達(dá)1700℃，真空度可達(dá)到5x10-2 torr ，可以混合1-3種氣體。 GSL-1700X-III-F3LV 1700℃三溫區管式爐
OTF-1200X-Ⅱ-S2是一款雙溫區帶有升降雙通道進料系統的共蒸發多層沉積管式爐，通過升降雙通道進料系統可裝載4個不同材料的蒸發坩埚舟，并且可一次同時(shí)送入兩個蒸發坩埚源進入管式爐中進行共蒸發或反應蒸發。雙溫區管式爐可以實現(xiàn)快速加熱，并且通過對各(gè)個溫區設置(zhì)不同的加熱溫度可以創建不同的溫度梯度從而實現(xiàn)蒸發沉積。 OTF-1200X-Ⅱ-S2 1200℃多坩埚同時(shí)移動型管式爐
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