GSL-1800X-ZF2 蒸發鍍膜儀主要應用于大專院校、科研機構、企業實驗室及微小産品進行真空鍍膜等真空處(chù)理的工藝研究、樣闆試制、操作培訓和生産
GSL-1800X-ZF4 蒸發鍍膜儀是一款高真空的蒸發鍍膜儀,特别适(shì)合蒸鍍對氧較敏感的金(jīn)屬膜(如Ti、Al、Au等),也可蒸鍍各(gè)種氧化物材料。本機設有4個蒸鍍加熱舟,且每個蒸鍍舟都帶有擋闆。若更改部分配置(zhì)也可實現(xiàn)對有機材料的蒸發鍍膜,可滿足發光器件(jiàn)及有機太陽能電池方(fāng)面的研究要求,是一款鍍膜效果理想且性價較高的實驗設備。
OTF-1200X-RTP-II 近距離蒸發鍍膜(CSS)爐專門針對于用PVD或CSS法來制作薄膜。管式爐爐管直徑爲11“ OD,爐管内載樣盤可放置(zhì)3“ 的圓形或2“x2“的方(fāng)形基片。加熱元(yuán)件(jiàn)爲兩組紅外燈管,分别安裝在腔體的頂端和底部,其升溫速率高達(dá)20ºC/S 。溫控系統爲PID30段程序化控制,控溫精度爲+/-1ºC。儀器面闆上帶有RS485接口,儀表内配有控溫軟件(jiàn),可将升溫程序和曲線導出。
OTF-1200X-RTP-II-5-R 5英寸旋轉(zhuǎn)蒸發鍍膜爐,其爐腔體是一直徑爲11英寸的石英管。此款設備專門設計針對于熱蒸發或CSS(Close Spaced Sublimation)鍍膜實驗,其鍍膜面積可達(dá)到5“x5“,并且頂部載樣台可旋轉(zhuǎn),提高鍍膜均勻性。此款高溫爐的加熱元(yuán)件(jiàn)是兩組紅外燈管(分别位于頂部和底部),大升溫速率爲10ºC/s 。對于探索新一代的薄膜太陽能電池,